放大圖片 真空排氣臺 設備 2025年-07月-28 04:49:10 產品概述主要采用無油超高真空系統，用于實現紅外杜瓦內真空排氣處理。產品參數技術參數類型中測排氣、超高真空排氣（器件）工位4-16工位可定制限真空度（空載）中測優于5×10-7mbar超高真空優于7×10-10mbar其他參數供電電源380V/220V可選其他超高真空排氣設備選配計算機控制、激活電源探測器組件內部二極管、測量用精密恒流源
