放大圖片 真空規管 真空產品 2025年-08月-21 03:06:17 一、工作原理(按類型分)熱傳導式:靠氣體熱傳導率隨壓力變化,檢測加熱金屬絲電阻反推壓力,量程 10?~10?1Pa,簡單低成本,需校準;電離式:電子撞擊氣體電離產生離子流,離子流強度關聯壓力,量程 10?1~10?11Pa,精度高,需先抽低真空;電容式薄膜:壓力差使薄金屬膜形變,導致電容變化,量程 10?~10??Pa,耐污染、無燈絲,適配腐蝕性氣體;冷陰極電離式:高壓電場電離氣體,無燈絲損耗,量程 10?2~10??Pa,耐沖擊,適合惡劣環境。二、應用場景真空設備:配套真空泵組監測壓力(判狀態、查漏氣),鍍膜機 / 刻蝕機確認真空達標;科研實驗:加速器、核聚變裝置測超高真空,SEM/TEM 保障成像分辨率;工業生產:半導體工藝監測潔凈真空,醫藥凍干設備控真空度防藥品破壞;計量校準:高精度規管作標準,校準低精度規管。?真空規管類目:粗真空規高真空規寬量程真空規薄膜真空規